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FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能

王子鑫 张勇

王子鑫, 张勇. FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能[J]. 工程科学学报. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
引用本文: 王子鑫, 张勇. FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能[J]. 工程科学学报. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
Microstructure and properties of FeCrVTa0.4W0.4 high-entropy alloy nitride films[J]. Chinese Journal of Engineering. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
Citation: Microstructure and properties of FeCrVTa0.4W0.4 high-entropy alloy nitride films[J]. Chinese Journal of Engineering. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004

FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能

doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
详细信息
  • 中图分类号: TG139

Microstructure and properties of FeCrVTa0.4W0.4 high-entropy alloy nitride films

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出版历程
  • 网络出版日期:  2020-11-13

FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能

doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
  • 中图分类号: TG139

摘要: 本实验利用单靶射频磁控溅射技术,在单晶硅基底上,制备了两个系列FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜,即FeCrVTa0.4W0.4氮化物成分梯度多层薄膜和(FeCrVTa0.4W0.4)Nx单层薄膜,其中,多层薄膜用于太阳光谱选择性吸收薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米力学探针、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计、接触角测量仪和四探针测试台对FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜进行微观结构分析以及性能表征。结果表明:在不通入氮气时,薄膜为非晶结构,当氮气含量升高后,转变为面心立方固溶体结构;当表层氮气流量为15sccm时,FeCrVTa0.4W0.4氮化物多层薄膜及单层薄膜均具有最佳的力学性能,随着表层氮气含量的继续增加,力学性能下降;FeCrVTa0.4W0.4氮化物成分梯度多层薄膜在300-800nm波长范围内均具有太阳光谱选择吸收性,当氮化物薄膜层数较少时具有较好的疏水性;(FeCrVTa0.4W0.4)Nx单层薄膜随着氮气含量的增加,薄膜方块电阻增加。

English Abstract

王子鑫, 张勇. FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能[J]. 工程科学学报. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
引用本文: 王子鑫, 张勇. FeCrVTa0.4W0.4高熵合金氮化物薄膜的微观结构与性能[J]. 工程科学学报. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
Microstructure and properties of FeCrVTa0.4W0.4 high-entropy alloy nitride films[J]. Chinese Journal of Engineering. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004
Citation: Microstructure and properties of FeCrVTa0.4W0.4 high-entropy alloy nitride films[J]. Chinese Journal of Engineering. doi: 10.13374/j.issn2095-9389.2020.09.28.004

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